VLSI 超纯水站设计

• 作者: 刘建伟 寇玉香 莫德举
• 来源期刊: 中国给水排水
• 学科: 工学
• 关键词: 超纯水站 设计 工艺 设备选型
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 44-46
• 页数: 3页
• 分类号: TU991.36
• 字数: 2830字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-4602.2001.03.014

摘要

介绍了清华大学微电子所VLSI超纯水站工艺设计思想及设备选型，并阐明了对关键设备选型及材质的技术要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	寇玉香		4	3	1.0	1.0
2	莫德举	北京化工大学信息科学与技术学院	54	502	11.0	19.0
3	刘建伟	北京化工大学信息科学与技术学院	9	53	5.0	7.0