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摘要:
研究了不同能量的团簇碰撞有机物(CH3SiO3/2)衬底形成的表面形貌。结果表明,团簇能量的增大,增加了团簇原子在基片表面的有效碰撞能和迁移力,也改善了沉积薄膜的附着性、致密性、平整性等。特别是有机物上修饰条纹的出现,是迁移力增加的有力证据
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文献信息
篇名 荷能团簇束成膜的表面迁移和附着特性的研究
来源期刊 核技术 学科 物理学
关键词 荷能团簇 原子力显微镜(AFM) 迁移性和附着性
年,卷(期) 2001,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 81-84
页数 4页 分类号 O484|O571.33
字数 1890字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0253-3219.2001.02.001
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 徐洪杰 中国科学院上海原子核研究所 56 438 10.0 19.0
2 石瑛 中国科学院上海原子核研究所 13 212 8.0 13.0
3 俞国庆 中国科学院上海原子核研究所 6 9 2.0 3.0
4 朱德彰 中国科学院上海原子核研究所 26 83 5.0 8.0
5 潘浩昌 中国科学院上海原子核研究所 6 10 2.0 3.0
6 欧阳振乾 中国科学院上海原子核研究所 2 3 1.0 1.0
7 陈景升 中国科学院上海原子核研究所 4 6 2.0 2.0
8 张志滨 中国科学院上海原子核研究所 3 5 2.0 2.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
荷能团簇
原子力显微镜(AFM)
迁移性和附着性
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
核技术
月刊
0253-3219
31-1342/TL
大16开
上海市800-204信箱
4-243
1978
chi
出版文献量(篇)
4560
总下载数(次)
14
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导