荷能团簇束成膜的表面迁移和附着特性的研究

• 作者: 俞国庆 张志滨 徐洪杰 朱德彰 欧阳振乾 潘浩昌 石瑛 陈景升
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 荷能团簇 原子力显微镜(AFM) 迁移性和附着性
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 81-84
• 页数: 4页
• 分类号: O484|O571.33
• 字数: 1890字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2001.02.001

摘要

研究了不同能量的团簇碰撞有机物(CH3SiO3/2)衬底形成的表面形貌。结果表明,团簇能量的增大,增加了团簇原子在基片表面的有效碰撞能和迁移力,也改善了沉积薄膜的附着性、致密性、平整性等。特别是有机物上修饰条纹的出现,是迁移力增加的有力证据

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐洪杰	中国科学院上海原子核研究所	56	438	10.0	19.0
2	石瑛	中国科学院上海原子核研究所	13	212	8.0	13.0
3	俞国庆	中国科学院上海原子核研究所	6	9	2.0	3.0
4	朱德彰	中国科学院上海原子核研究所	26	83	5.0	8.0
5	潘浩昌	中国科学院上海原子核研究所	6	10	2.0	3.0
6	欧阳振乾	中国科学院上海原子核研究所	2	3	1.0	1.0
7	陈景升	中国科学院上海原子核研究所	4	6	2.0	2.0
8	张志滨	中国科学院上海原子核研究所	3	5	2.0	2.0