先进成像技术在失效分析中的应用

• 作者: 唐民 张素娟
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 失效分析 成像技术
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 50-53
• 页数: 4页
• 分类号: TN406
• 字数: 4432字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2001.02.014

摘要

失效分析是半导体集成电路制造和高可靠应用过程的重要组成部分。本文着重讨论了失效分析中能够快速定位芯片内故障的成像技术。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张素娟	北京航空航天大学可靠性工程研究所	7	19	3.0	4.0
2	唐民	中国空间技术研究院电子元器件可靠性中心	14	65	5.0	7.0