Cd1-x ZnxTe晶体退火条件的选择及Zn压对退火晶体质量的影响

• 作者: 介万奇 张晓娜 李宇杰
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Cd1-xZnxTe 退火 气-固平衡
• 年，卷（期）: 2001,（12）
• 所属期刊栏目: 总论
• 页码范围: 2327-2333
• 页数: 8页
• 分类号: O4
• 字数: 5421字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.12.010

摘要

采用传统Bridgman方法和加入accelerated crucible rotation technique的Bridgman(缩写为ACRT-B)方法生长的Cd1-xZnxTe(x=0.04)晶体中存在有点缺陷、位错、杂质和Te沉淀等缺陷.为了减少甚至消除这些缺陷,必须将生长后的CdZnTe晶片在Cd气氛下退火.从Cd-Te和Cd0.96Zn0.04Te的P-T相图出发,详细讨论了CdZnTe晶体的气-固平衡条件,并以此为依据选择退火条件,对ACRT-B法生长的Cd0.96Zn0.04Te晶体进行了退火实验研究.实验结果表明,气氛中的Zn压在一定程度内高于平衡压力有利于晶体中多余Te向晶体表面扩散,即有利于消除Te沉淀.但过高的Zn压会使晶体表面成分偏离原始的化学配比.此时,晶体表面与气氛强烈的原子交换,将造成严重的表面损伤,形成一层结晶质量很差的表面层.同时,Zn原子向晶内的扩散,抑制了退火过程中晶内杂质向晶体表面的扩散.因此,在较低的Zn压下退火(但仍处于气-固平衡范围内),能排除晶内杂质.通过仔细研究不同条件下退火后晶片的结晶质量和断面成分分布,可以认为CdZnTe晶体的退火可分为去沉淀相退火、去杂质退火和均匀化退火几种,最佳的退火工艺应是多步骤、多阶段的组合退火工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	介万奇	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	272	1636	19.0	27.0
2	李宇杰	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	5	12	2.0	3.0
3	张晓娜	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	1	7	1.0	1.0