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摘要:
介绍了二元光学的产生和发展,着重阐述了二元光学元件之一的微透镜的设计、制作和测试方法以及它们的主要应用.
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二元光学法在微透镜制作中的应用
二元光学
微透镜
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透镜
曲率半径
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内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 二元光学元件——微透镜
来源期刊 半导体技术 学科 工学
关键词 二元光学 微透镜 衍射效率 点扩散函数 蚀刻
年,卷(期) 2001,(11) 所属期刊栏目 支撑技术
研究方向 页码范围 74-76
页数 3页 分类号 TN221
字数 2632字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1003-353X.2001.11.022
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 易新建 华中科技大学光电子工程系 102 1261 21.0 29.0
2 陈四海 华中科技大学光电子工程系 46 459 12.0 18.0
3 孔令彬 中国地质大学机电工程系 23 170 8.0 12.0
传播情况
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引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (1)
节点文献
引证文献  (8)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1997(1)
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  • 二级参考文献(0)
2001(0)
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2005(1)
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2006(3)
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2007(1)
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2009(1)
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2013(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
二元光学
微透镜
衍射效率
点扩散函数
蚀刻
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体技术
月刊
1003-353X
13-1109/TN
大16开
石家庄179信箱46分箱
18-65
1976
chi
出版文献量(篇)
5044
总下载数(次)
38
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