微波等离子体化学气相沉积法制备C3N4薄膜的结构研究

• 作者: 张永平 张秀芳 顾有松 高鸿钧
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: C3N4 微波等离子体化学气相沉积法 薄膜沉积
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 页码范围: 2396-1400
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 1638字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.07.038

摘要

采用微波等离子体化学气相沉积法,用高纯氮气(99.999%)和甲烷(99.9%)作反应气体,在单晶Si(100)基片上沉积C3N4薄膜.利用扫描电子显微镜观察薄膜形貌,表明薄膜由密排的六棱晶棒组成.X射线衍射和透射电子显微镜结构分析说明该薄膜主要由β-C3N4和α-C3N4组成,并且这些结果与α-C3N4相符合较好.由虎克定律近似关系式计算了α-和β-C3N4的傅里叶变换红外光谱和Raman光谱,实验结果支持C-N共价键的存在.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾有松	北京科技大学材料物理系	32	162	7.0	10.0
2	高鸿钧	中国科学院物理研究所凝聚态物理中心北京真空物理实验室	44	262	10.0	14.0
3	张永平	中国科学院物理研究所凝聚态物理中心北京真空物理实验室	6	26	3.0	5.0
4	张秀芳	中国科学院物理研究所凝聚态物理中心北京真空物理实验室	6	52	4.0	6.0