变间距光栅刻线密度的测试精度分析

• 作者: 余小江 周洪军 王琪民 王秋平 陈锵
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 变间距光栅 线密度 单色器
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 页码范围: 557-563
• 页数: 7页
• 分类号: TL817+.4|O432.2
• 字数: 3998字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2001.07.006

摘要

介绍了衍射法测量变间距光栅线密度的测量系统.该测量系统由激光器、准直镜、光栅转动台(含角度测量仪)、直线工作台、光栅调节架、探测器和待测光栅组成.分析了系统中各种误差对测量精度的影响,以及变间距光栅参数的变化对光学系统的影响和补偿办法.计算表明,该系统的测试精度满足光束线对光学系统的性能要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王秋平		37	235	8.0	13.0
2	周洪军		41	221	10.0	13.0
3	陈锵		4	46	4.0	4.0
4	余小江		8	54	4.0	7.0
5	王琪民	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	10	88	6.0	9.0