提高CVD金刚石薄膜刀具膜-基附着力的工艺方法评述

• 作者: 汪建华 满卫东
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 刀具 金刚石薄膜 WC-Co基底 膜-基附着力 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2001,（9）
• 所属期刊栏目: 专题综述
• 页码范围: 3-8
• 页数: 6页
• 分类号: TG71
• 字数: 4924字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2001.09.001

摘要

提高金刚石薄膜与硬质合金基底之间的附着力是CVD金刚石薄膜刀具得以推广应用的关键因素.本文介绍了国内外采用CVD法制备金刚石薄膜刀具时提高膜-基附着力的典型工艺方法,评述了WC-Co基底预处理及沉积工艺对CVD金刚石薄膜与基底之间附着力的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华		57	613	12.0	20.0
2	满卫东		12	309	8.0	12.0