扫描近场红外显微镜光纤探针的腐蚀制法

• 作者: 张立源 李永贵 王潜
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 扫描探针显微镜(SPM) 近场红外扫描显微镜(SNIM) 光纤探针
• 年，卷（期）: 2001,（12）
• 所属期刊栏目: 总论
• 页码范围: 2322-2326
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 2952字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.12.009

摘要

红外光探针是扫描近场红外显微镜(SNIM)中的关键部件,由于探针的种类和材料不同,制作的方法也不同.一般制作光纤探针有两种方法,即热拉伸法和化学腐蚀法.这里叙述了一种化学腐蚀方法,介绍了怎么去除砷硒碲中红外光纤的聚酰胺表层和硫化硒夹层,以及芯层腐蚀成针尖状的具体方法和过程,并对短锥针探针制法进行了探索.最后用此探针在近场范围内探测了氮化镓样品的自由电子激光(FEL)反射谱.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李永贵	中国科学院高能物理研究所自由电子激光实验室	18	41	3.0	5.0
2	张立源	中国科学院高能物理研究所自由电子激光实验室	1	17	1.0	1.0
3	王潜	中国科学院高能物理研究所自由电子激光实验室	6	45	3.0	6.0