铝硅合金膜在MEMS电容式开关中的应用

• 作者: 丁玲 忻佩胜 朱自强 石艳玲 赖宗声
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: RFMEMS开关 铝硅合金 共面波导
• 年，卷（期）: 2001,（12）
• 所属期刊栏目: 应用长廊
• 页码范围: 75-77
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1832字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2001.12.024

摘要

对几种可用于MEMS电容式开关中的弹性薄膜材料进行了分析,含硅4%的轻质量铝合金具有较佳的性能.应用该弹性膜制备了微波MEMS电容式开关,实验结果表明,开关具有较低的激励电压,约为28V,在10GHz处的隔离度大于15dB.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石艳玲	华东师范大学信息科学技术学院	47	205	8.0	12.0
2	忻佩胜	华东师范大学信息科学技术学院	16	115	7.0	10.0
3	朱自强	华东师范大学信息科学技术学院	40	272	11.0	13.0
4	赖宗声	华东师范大学信息科学技术学院	136	779	13.0	18.0
5	丁玲	华东师范大学信息科学技术学院	2	11	2.0	2.0