Mach-Zehnder型有机极化聚合物电光调制器

• 作者: 吴荣汉 杜云 杨晓红 石志文
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 极化聚合物 MZ波导 电光调制器
• 年，卷（期）: 2001,（8）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 971-974
• 页数: 4页
• 分类号: TN761
• 字数: 1349字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.08.004

摘要

制备了一种以三层聚合物为波导材料的Mach-Zehnder型电光调制器，其中芯层为新型可交联极化聚胺脂电光功能材料．主要制备工艺为：旋涂制备波导薄膜、电晕极化、光刻和氧反应离子刻蚀．以1.3μm和1.55μm半导体激光器为光源,以光纤耦合输入脊波导调制器，从输出端得到很好单模近场图,其中从Y型两分支波导输出的光强基本相同．同时在示波器中得到清晰的调制信号．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨晓红		33	182	8.0	12.0
2	杜云		21	67	5.0	7.0
3	吴荣汉		22	159	8.0	12.0
4	石志文		4	17	2.0	4.0