金属Ti/Cu多层膜紫外光反射性能研究

• 作者: 李燕 杨成韬 罗佳慧
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 多层金属膜 直流磁控溅射 紫外反射率
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 93-94
• 页数: 2页
• 分类号: O484.41
• 字数: 1693字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2001.01.035

摘要

采用直流磁控溅射方法制备Ti/Cu和Cu/Nb多层金属反射膜,并对膜的紫外光反射性能进行研究,发现该膜的反射性能与基片的结构和温度、多层膜的周期和结构有关.选用取向为(100)的单晶Si为基片,在基片温度为470℃左右、多层膜的周期为30时,膜的结晶性较好.且多层膜的反射率随波长的减小而增加,在波长为250nm时,反射率可达到65%

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨成韬	电子科技大学信息材料工程学院	67	255	8.0	12.0
2	李燕	电子科技大学信息材料工程学院	29	259	9.0	15.0
3	罗佳慧	电子科技大学信息材料工程学院	9	51	4.0	6.0