Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理

• 作者: 余云鹏 余楚迎 姚若河 林揆训 林璇英 池凌飞
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Langmuir探针 二次微商 数值滤波 微分电路
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 页码范围: 1313-1318
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3059字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.07.023

摘要

Langmuir探针是诊断等离子体参数的重要手段.报道了在氩气射顿(13.56MHz)辉光放电等离子体中使用调谐单探针进行诊断,对探针I-V特性曲线的统计噪声进行了数字滤波的光滑化处理,而后求二次微商.在相同的放电条件下,使用自行设计的微分电路,对探针特性二次微商进行在线测量.这两种方法得到的二次微商结果能够较好地符合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余云鹏	汕头大学物理系	27	230	8.0	14.0
2	林璇英	汕头大学物理系	40	400	10.0	18.0
3	林揆训	汕头大学物理系	29	339	9.0	18.0
4	余楚迎	汕头大学物理系	27	321	9.0	17.0
5	池凌飞	汕头大学物理系	14	153	6.0	12.0
6	姚若河	汕头大学物理系	23	197	6.0	14.0