纹膜结构微麦克风的动态特性:使用EDA/CAD工具进行Top-down设计

• 作者: 刘理天 李志坚 陈兢
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS CAD 动态特性 微麦克风 纹膜
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 951-956
• 页数: 6页
• 分类号: O421+.4|TN402|TN641
• 字数: 4309字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.07.028

摘要

综合使用通用电路模拟软件PSPICE和有限元分析软件ANSYS对一种硅基微麦克风进行了系统模拟.得到了各项参数的优化值,优化后的微麦克风在音频范围内具有平直的响应.在此基础上,提出了一种Top-down的优化设计方式以准确预测系统的行为,分析了各组件的相互作用及其对系统性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	李志坚	清华大学微电子学研究所	84	451	11.0	15.0
3	陈兢	清华大学微电子学研究所	7	54	4.0	7.0