国外电子气体技术进展

• 作者: 余京松 梁国仑
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子气体 集成电路 气体分析仪 粒子计数
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 25-28
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.0
• 字数: 3630字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2001.02.007

摘要

论述了集成电路技术的发展对电子气体质量提出的更为刻苛的要求。介绍了一些相关新设备、新仪器以及新品种电子气体的应用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁国仑		5	46	4.0	5.0
2	余京松	浙江大学材料系功能室	9	78	5.0	8.0