MEMS光开关

• 作者: 徐永青 杨拥军 梁春广
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械:光开关 硅-玻璃键合
• 年，卷（期）: 2001,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1551-1556
• 页数: 6页
• 分类号: TN256
• 字数: 3213字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.12.015

摘要

采用MEMS体硅工艺,制作了三种结构的微机械光开关:水平驱动2D(二维)光开关、垂直驱动2D光开关和扭摆驱动2D、3D(三维)光开关.水平驱动光开关采用单层体硅结构,另外两种光开关都采用了硅-玻璃的键合结构.它们的工作原理都基于硅数字微镜技术.这三种光开关均采用了静电力驱动,具有较低的驱动电压,其中扭摆式光开关的驱动电压小于15V.对于2D开关阵列,在硅基上制作了光纤自对准耦合槽.对后两种光开关的开关特性进行了计算机模拟与分析,结果表明这两种光开关具有小于1ms的开关时间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁春广		12	96	4.0	9.0
2	徐永青		5	78	3.0	5.0
3	杨拥军		4	85	3.0	4.0