Effects of Substrate Temperature on Properties for Transparent Conducting ZnO:A1 Films on Organic Substrate Deposited by r.f. Sputtering

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篇名	Effects of Substrate Temperature on Properties for Transparent Conducting ZnO:A1 Films on Organic Substrate Deposited by r.f. Sputtering
来源期刊	材料科学技术学报(英文版)	学科	工学
关键词
年，卷（期）	2001,（5）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	517-520
页数	4页	分类号	TG14
字数		语种	英文
DOI	10.3321/j.issn:1005-0302.2001.05.007

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