半导体激光器电极制备中的蒸发技术

• 作者: 李辉 王晓华 王玉霞
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器电极 电极蒸铟
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 54-55
• 页数: 2页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 1173字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2001.02.015

摘要

介绍了半导体激光器电极的蒸发技术。改进了焊接技术即蒸铟技术，并对使用的铟量、铟的厚度、蒸发电流、蒸发源与被蒸镀的电极之间的距离及铟表面的均匀度进行了实验。最后蒸发出了表面均匀、有金属光泽、厚度合适的理想电极。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王玉霞	长春光机学院高功率半导体激光国家重点实验室	2	0	0.0	0.0
2	王晓华	长春光机学院高功率半导体激光国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
3	李辉	长春光机学院高功率半导体激光国家重点实验室	1	0	0.0	0.0