离散谱折射率法优化设计深刻蚀、单模GaAs/GaAlAs脊形光波导

• 作者: 杨建义 江晓清 王明华 马慧莲
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 离散谱折射率法 深刻蚀 GaAs/GaAlAs
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 481-485
• 页数: 5页
• 分类号: TN814+.6
• 字数: 3720字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.04.019

摘要

采用离散谱折射率法对深刻蚀GaAs/GaAlAs多层脊形光波导的特性作了详细的理论分析，并对所获得的较大截面、低损耗的单模脊形光波导的制作容差性作了进一步的分析．计算表明，用离散谱折射率法获得的单模脊形光波导具有较大的制作容差性．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王明华	浙江大学信息与电子工程学系	134	958	17.0	24.0
2	杨建义	浙江大学信息与电子工程学系	97	650	13.0	21.0
3	江晓清	浙江大学信息与电子工程学系	104	672	13.0	20.0
4	马慧莲	浙江大学信息与电子工程学系	57	569	13.0	21.0