等价掺杂转换理论预示扩散-外延穿通P-N结的击穿电压和击穿峰值电场强度

• 作者: 何进 张兴 王阳元 黄如
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 扩散-外延穿通P-N结 击穿电压 击穿峰值电场强度 等价掺杂转换方法
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 256-260
• 页数: 5页
• 分类号: TN302
• 字数: 2077字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.03.002

摘要

基于等价掺杂转换理论的应用，得到了解析计算扩散-外延穿通P-N结击穿电压和击穿峰值电场强度的一系列结果．介绍了等价掺杂转换方法的基本理论，然后运用该理论得到了用于低压功率器件优化设计的系列击穿电压和击穿峰值电场强度计算公式，并正确地预示了最大击穿电压和击穿峰值电场强度的位置．理论结果显示出与以前的数值分析结果很好的一致性．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄如	北京大学微电子学研究所	87	413	9.0	17.0
2	张兴	北京大学微电子学研究所	120	618	12.0	20.0
3	王阳元	北京大学微电子学研究所	78	1128	15.0	32.0
4	何进	北京大学微电子学研究所	24	84	5.0	8.0