微型机械电子系统的研究动态

• 作者: 龚晓燕
• 来源期刊: 煤矿机械
• 学科: 工学
• 关键词: 微型机械电子系统 μm/nm技术 微结构 微 细加工
• 年，卷（期）: 2001,（11）
• 所属期刊栏目: 专题.综述
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TH05
• 字数: 5098字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0794.2001.11.001

摘要

阐述微型机械电子系统的概念与内涵,详细地分析了微型机械电子系统的研究方向和发展趋势,为今后深入研究该领域的课题提供了依据 .

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚晓燕		41	238	9.0	13.0