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摘要:
阐述微型机械电子系统的概念与内涵,详细地分析了微型机械电子系统的研究方向和发展趋势,为今后深入研究该领域的课题提供了依据 .
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文献信息
篇名 微型机械电子系统的研究动态
来源期刊 煤矿机械 学科 工学
关键词 微型机械电子系统 μm/nm技术 微结构 微 细加工
年,卷(期) 2001,(11) 所属期刊栏目 专题.综述
研究方向 页码范围 1-4
页数 4页 分类号 TH05
字数 5098字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1003-0794.2001.11.001
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 龚晓燕 41 238 9.0 13.0
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研究主题发展历程
节点文献
微型机械电子系统
μm/nm技术
微结构
微 细加工
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
煤矿机械
月刊
1003-0794
23-1280/TD
大16开
哈尔滨市古香街30号
14-38
1980
chi
出版文献量(篇)
21080
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49
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