基于FET结构的Pt-LaF3混合膜溶解氧传感器

• 作者: 李华伟 牛文成 谢建湘 那兴波
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: FET结构 Pt-LaF3混合膜 溶解氧传感器
• 年，卷（期）: 2001,（9）
• 页码范围: 1202-1206
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2886字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.09.023

摘要

研制了一种基于FET结构的Pt-LaF3混合膜全固态溶解氧传感器.对Pt-LaF3敏感膜的敏感机制以及传感器的器件结构和响应特性进行了分析,并实际测试了器件特性,给出了在不同工作点和不同温度条件下器件的输出电压对溶解氧浓度变化的响应曲线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛文成	南开大学信息技术科学学院	48	515	11.0	21.0
2	李华伟	南开大学信息技术科学学院	10	15	3.0	3.0
3	那兴波	南开大学信息技术科学学院	7	20	3.0	3.0
4	谢建湘	南开大学信息技术科学学院	4	13	3.0	3.0