表面等离子体激元共振溶胶-凝胶薄膜传感器

• 作者: 冯仕猛 张伟清 梁培辉 顾铮
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 表面等离子体激元共振 溶胶-凝胶 薄膜传感器 光学参数
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 83-87
• 页数: 5页
• 分类号: TN136|O484
• 字数: 3936字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2001.01.020

摘要

采用溶胶-凝胶金属氧化物半导体薄膜，作为表面等离子体激元共振效应的光化学传感器的传感介质。分析了金属Ag膜与传感薄膜的光学参数对传感器灵敏度的影响。通过在金属层与传感层之间优化设计中间层，进一步提高了传感器灵敏度。选择SnO2薄膜及SiO2薄膜作为传感层与中间层，对三种气体NH3、C2H5OH、C3H8进行气敏实验，结果表明结构优化的传感器具有更高的灵敏度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁培辉	中国科学院上海光学精密机械研究所	16	89	6.0	8.0
2	张伟清	中国科学院上海光学精密机械研究所	10	77	6.0	8.0
3	顾铮	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	11	1.0	1.0
4	冯仕猛	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	25	3.0	5.0