蓝宝石衬底片精密加工工艺研究

• 作者: 周海
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石 衬底片 精密加工 加工质量
• 年，卷（期）: 2001,（9）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 13-14
• 页数: 2页
• 分类号: TH161
• 字数: 2198字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2001.09.006

摘要

通过对蓝宝石衬底片精密加工的设备、工具、辅料、清洗等方面的研究,优化了衬底片加工工艺,提高了衬底片加工质量,且降低了加工成本.