利用装置环形永磁场的直拉炉（PMCZ）生长单晶硅和掺锗硅晶体

• 作者: 孙军生 张恩怀 张维连 李嘉席
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 永磁场直拉炉 微重力 锗硅单晶 热对流
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 309-312
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.053
• 字数: 2909字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.03.013

摘要

设计了一种永磁（钕铁硼）环形磁场装置代替常规电磁场用于直拉炉生长单晶硅和掺锗单晶硅（PMCZ法）．磁力线呈水平辐射状均匀分布．只要磁场强度足够强，即可有效地抑制熔体中热对流和晶体旋转产生的离心强迫对流，从而有效地抑制了固液界面处的温度波动，降低以至消除微观生长速率的起伏，造成了一种类似于空间微重力环境下生长晶体的条件．在这种条件下，杂质和掺杂剂的运动方式受扩散规律控制．利用这种装置生长了掺锗（Ge∶Si重量比为1.0%，5.0%和10.0%）和不掺锗的硅晶体，获得了氧浓度较低，掺杂剂径向分布均匀性好的较高质量的晶体．该装置磁场强度可方便地通过调节磁环之间相对位置及磁环相对固液界面位置进行调控，满足不同工艺条件对不同的场强的要求．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张维连	河北工业大学材料研究中心	27	203	9.0	13.0
2	孙军生	河北工业大学材料研究中心	11	87	5.0	9.0
3	张恩怀	河北工业大学材料研究中心	8	66	4.0	8.0
4	李嘉席	河北工业大学材料研究中心	6	74	4.0	6.0