低能离子束轰击对非晶Ni-P薄膜组织与性能的影响

• 作者: 吴起白 曾鹏 胡社军 谢光荣 黄拿灿
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: 低能离子束轰击 Ni-P非晶镀层 晶化 组织结构 显微硬度
• 年，卷（期）: 2001,（8）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 12-13
• 页数: 2页
• 分类号: TG174.444|TQ153.2
• 字数: 2438字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1560.2001.08.004

摘要

用X-射线衍射仪(XRD)、俄歇电子能谱分析仪(AES)、电子探针(EPMA)、差示扫描量热仪(DSC)和超微显微硬度计研究了低能氮离子束对非晶Ni-P合金镀层进行轰击的晶化规律,分析了在低能氮离子束作用下的非晶薄膜的组织结构和显微硬度.结果表明,用能量为3.0～4.0 keV,束流为80～200 mA的低能氮离子束对非晶Ni-P镀层进行轰击,镀层中可以晶化析出Ni和Ni3P相,并在Ni(111)晶面上出现择优取向.随低能氮离子束的轰击能量和束流的增大,Ni-P非晶镀层中Ni和Ni3P的晶化温度下降,束流对晶化温度的影响比加速电压的影响大.载能粒子对非晶薄膜的作用,产生氮离子注入效应,使表层的含氮量增加.随束流的增加,显微硬度增加减缓,而随氮离子束加速电压增加,显微硬度增加明显,在4 000 V加速电压的氮离子束轰击下,显微硬度达到HV2 131,比一般退火晶化方法所得到的显微硬度显著提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾鹏	广东工业大学材料与能源学院	64	572	13.0	20.0
2	胡社军	广东工业大学材料与能源学院	66	842	14.0	26.0
3	谢光荣	广东工业大学材料与能源学院	82	729	14.0	23.0
4	黄拿灿	广东工业大学材料与能源学院	48	688	14.0	24.0
5	吴起白	广东工业大学材料与能源学院	28	190	9.0	12.0