平面结场板结构表面场分布的二维解析

• 作者: 何进 张兴 王阳元 黄如
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 平面结 场板结构 电场分布 击穿电压
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 915-918
• 页数: 4页
• 分类号: TN401
• 字数: 2009字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.07.020

摘要

提出了基于二维泊松方程解的平面结场板结构的二维表面电场解析物理模型.在该模型基础上,分析了衬底掺杂浓度、场板厚度和长度对二维表面场分布的影响.解析预言的场分布与击穿电压的计算结果与先前的数值分析基本符合.该模型为场板结构的优化设计提供了理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄如	北京大学微电子学研究所	87	413	9.0	17.0
2	张兴	北京大学微电子学研究所	120	618	12.0	20.0
3	王阳元	北京大学微电子学研究所	78	1128	15.0	32.0
4	何进	北京大学微电子学研究所	24	84	5.0	8.0