生产过程控制及其系统

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 计算机控制系统 汽车变截面板簧 生产过程控制 微传感器 液压伺服系统 智能控制算法 半导体 监测控制系统 设计方法 硬件结构
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 136-136
• 页数: 1页
• 分类号: TN

摘要

【正】 0103362汽车变截面板簧轧机计算机控制系统的研究[刊]/万文略//电子技术应用.—2000,26(10).—23～24(D)介绍两辊式汽车变截面板簧轧机计算机控制系统的主要硬件结构、设计方法,以及多模态智能控制算法在液压伺服系统中的应用。该控制系统设计合理,运行稳定,控制精度高。参3Y2000-62443-4179 0103363半导体生产过程的过程控制的自激微传感器阵=Au-tonomous micro-sensor arrays for process control of semi-conductor manufacturing processes[会,英]/Fisher,D.＆ Freed,M.//1999 IEEE Decision and Control,Vol.4.—4179～4184(HC)本文首先研究了自激微传感器阵对半导体生产的应用,接着讨论了为实现生产微传感器阵必须研究的关键问题。然后描述了解决空间蚀刻速率和温度传感器正在开发的研究计划。参19