激光荧光扫描光谱仪

• 作者: 凌勇 苏哲 董占民 陈皓明 韩立
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 荧光光谱仪 扫描检测 LED外延片 CCD
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 62-64
• 页数: 3页
• 分类号: TH7
• 字数: 2696字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2001.01.017

摘要

本文介绍了一种智能化激光荧光扫描光谱仪，可对大尺寸光致荧光样品进行扫描分析，从而获得需要的整体信息。进一步以发光二极管(LED)外延片为例，介绍仪器进行外延片在线无损检测的应用。该仪器可迅速对LED外延片进行在线检测，给出相关参数。实现智能化检测。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩立	清华大学物理系	11	83	5.0	9.0
2	凌勇	清华大学物理系	2	11	2.0	2.0
3	陈皓明	清华大学物理系	16	270	7.0	16.0
4	董占民	清华大学物理系	10	31	3.0	5.0
5	苏哲	清华大学物理系	3	20	3.0	3.0