用于模具行业的等离子体辅助化学气相沉积薄膜强化技术与应用

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徐可为

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篇名	用于模具行业的等离子体辅助化学气相沉积薄膜强化技术与应用
来源期刊	材料导报	学科
关键词
年，卷（期）	2001,（2）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	4-5
页数	2页	分类号
字数	1647字	语种	中文
DOI	10.3321/j.issn:1005-023X.2001.02.006