反应溅射法制备TiO2薄膜

• 作者: 孟铁军 张保澄 朱凤 王莉芳 赵坤 赵夔
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 反应溅射 TiO2薄膜
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 页码范围: 1390-1395
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 4203字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.07.037

摘要

报道了用反应溅射法制备TiO2薄膜的实验研究.详细研究了氧分压、基底温度和退火温度对成膜结构的影响.制备出了具有金红石和锐钛矿晶体结构的TiO2薄膜.分析了金红石和锐钛矿晶体的形成条件,并对薄膜的表面形貌进行了测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟铁军	北京大学重离子研究所	3	75	2.0	3.0
2	赵夔	北京大学重离子研究所	33	190	7.0	12.0
3	张保澄	北京大学重离子研究所	12	106	4.0	10.0
4	王莉芳	北京大学重离子研究所	5	75	2.0	5.0
5	朱凤	北京大学重离子研究所	17	94	4.0	9.0
6	赵坤	北京大学重离子研究所	4	120	3.0	4.0