动态可逆光电显微镜瞄准技术

• 作者: 程继红 郁有文
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光电显微镜 动态可逆 瞄准准确度
• 年，卷（期）: 2001,（9）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 16-17
• 页数: 2页
• 分类号: TB96|TH741
• 字数: 1040字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2001.09.007

摘要

以往介绍的动态光电显微镜瞄准技术,通常是指刻线单向运动时和固定狭缝的重复瞄准方法.而本文介绍的是指刻线在双向运动中可逆的重复瞄准技术.文章对这种高精度的线纹瞄准装置结构,电路特点及瞄准准确度作了介绍.该装置在实际应用中,获得动态可逆瞄准准确度为0.07μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程继红	南京师范大学控制科学与工程系	12	36	4.0	5.0
2	郁有文	南京师范大学控制科学与工程系	4	84	2.0	4.0