蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响

• 作者: 任大鹏 伏晓国 吕学超 鲜晓斌
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 沉积真空 铀薄膜 组成 结构
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 62-63,55
• 页数: 3页
• 分类号: TN3
• 字数: 2594字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2001.07.022

摘要

用X-光电子能谱仪(XPS)、扫描透射电镜(STEM)分析了蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响。结果表明，在沉积真空2Pa下，蒸发、磁控溅射沉积的铀薄膜已完全氧化；在沉积真空2×10-1Pa下，磁控溅射沉积的铀薄膜由金属铀和二氧化铀组成，薄膜呈微晶或无定形结构。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任大鹏		23	100	6.0	9.0
2	鲜晓斌		47	280	10.0	12.0
3	吕学超		29	121	6.0	9.0
4	伏晓国		13	70	6.0	7.0