纳米多层膜的微结构与超硬效应

• 作者: 李戈扬 许俊华 顾明元
• 来源期刊: 上海交通大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 多层膜 微结构 界面结构 超硬效应 交变应力场
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 457-461
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3929字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1006-2467.2001.03.032

摘要

对所研究的8种纳米多层膜(TiN/NbN、TiN/TaN、TiN/TaWN、TiN/AlN、NbN/TaN、TiN/SisN4、W/SiC和W/Mo)的晶体结构、调制结构、生长方式和界面结构类型以及它们的超硬度效应特征进行了总结和讨论.结果认为，界面共格应变或其他原因所导致的交变应力场对薄膜造成的强化作用是纳米多层膜产生超硬效应的主要原因之一.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾明元		82	1649	22.0	37.0
2	李戈扬		109	1036	18.0	25.0
3	许俊华		12	160	7.0	12.0