实验条件对纳米多孔SiO2薄膜结构及特性的影响

• 作者: 吴广明 周东平 周斌 张凤山 张勤远 杨天河 沈军 王珏 范滨 邓忠生
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶技术 SiO2薄膜 纳米多孔结构
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 175-181
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 字数: 3797字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.01.034

摘要

报道了实验制备条件对纳米多孔SiO2薄膜结构、折射率、红外吸收、XPS等特性的影响，尤其是报道了一种新的快速、方便、有效实现纳米多孔SiO2薄膜折射率连续调节的方法.在溶胶-凝胶基础上，采用碱、酸一步法以及碱/酸两步法和浸渍镀膜技术制备了纳米多孔SiO2薄膜.使用原子力显微镜、扫描电镜、XPS、傅里叶红外光谱仪、椭偏仪等方法测量和分析了薄膜的特性.实验结果给出从碱一步法、碱/酸两步法、到酸一步法形成的薄膜，SiO2颗粒变小，孔隙率降低，折射率从1.18连续增加到1.41；Si2p峰向高束缚能方向移动，并接近块体的值；红外吸收光学模ω4的频率向低波数方向移动，揭示了Si-O-Si键角的不断降低.这些结果表明，碱/酸两步法能方便、有效地连续控制纳米多孔SiO2薄膜的结构；实验条件对薄膜特性的影响起因于纳米多孔结构改变引起的SiO2结构变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周斌	同济大学波耳固体物理研究所	140	1582	22.0	31.0
2	沈军	同济大学波耳固体物理研究所	199	2285	26.0	36.0
3	王珏	同济大学波耳固体物理研究所	79	1255	22.0	32.0
4	吴广明	同济大学波耳固体物理研究所	118	1607	22.0	32.0
5	张凤山	中国科学院上海技术物理研究所	36	251	8.0	14.0
6	邓忠生	同济大学波耳固体物理研究所	18	442	12.0	18.0
7	张勤远	同济大学波耳固体物理研究所	9	90	5.0	9.0
8	杨天河	同济大学波耳固体物理研究所	6	61	4.0	6.0
9	范滨	中国科学院上海技术物理研究所	5	49	3.0	5.0
10	周东平	中国科学院上海技术物理研究所	2	67	2.0	2.0