基于VO2薄膜非致冷红外探测器光电响应研究

• 作者: 易新建 熊笔锋 陈长虹
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 非致冷测辐射热探测器 红外探测器 二氧化钒 薄膜
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 总论
• 页码范围: 450-452
• 页数: 3页
• 分类号: O4
• 字数: 1621字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.03.016

摘要

VO2薄膜是非致冷微测辐射热红外探测器热敏电阻材料。研究中应用微电子工艺制备了VO2溅射薄膜红外探测器，在296K的环境中测试了该探测器在不同的直流偏置、光调制频率下对873K标准黑体源8—12μm红外辐射的光电响应以及器件的噪声电压，在10和30Hz的调制频率下其响应率分别大于17kV/W和接近10kV/W。该探测器实现了探测率D*大于1.0×108cm Hz/W，热时间常量为0.011s的8-12μm非致冷红外探测。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	易新建	华中科技大学光电工程系	102	1261	21.0	29.0
2	陈长虹	华中科技大学光电工程系	6	124	4.0	6.0
3	熊笔锋	华中科技大学光电工程系	1	50	1.0	1.0