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摘要:
采用射频磁控溅射复合靶技术制备了Ge-SiO2薄膜. 薄膜在N2的保护下进行了不同温度的退火处理. 根据X射线衍射(XRD)谱估算了Ge纳米晶粒的平均尺寸. 经600~1000℃退火, Ge纳米晶粒的平均尺寸从3.9 nm增至6.1 nm. 在紫外光的激发下, 所有样品都发出很强的394 nm的紫光. 随着Ge纳米晶粒的出现, 样品有580 nm的黄光发出, 其强度随着晶粒的增大而增强. 对于经不同温度退火的样品, 这两个波段的峰位都保持不变. 根据分析结果对光致发光的机制进行了讨论.
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光致发光
磁控溅射
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 Ge-SiO2薄膜的光致发光及其机制
来源期刊 科学通报 学科 物理学
关键词 Ge-SiO2薄膜 射频磁控溅射 光致发光 发光机制
年,卷(期) 2001,(6) 所属期刊栏目 简报
研究方向 页码范围 525-528
页数 4页 分类号 O485|YG1
字数 2501字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0023-074X.2001.06.020
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈静 中国科学院上海冶金研究所 195 2091 24.0 37.0
2 吴雪梅 苏州大学物理系 72 331 9.0 13.0
3 诸葛兰剑 苏州大学物理系 59 199 8.0 11.0
4 汤乃云 苏州大学物理系 10 38 4.0 5.0
5 叶春暖 苏州大学物理系 11 54 4.0 6.0
6 姚伟国 苏州大学物理系 21 66 4.0 6.0
7 董业民 苏州大学物理系 7 27 3.0 5.0
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节点文献
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射频磁控溅射
光致发光
发光机制
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北京东城区东黄城根北街16号
80-213
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