溅射离子泵在直线加速器上的应用体会

• 作者: 牟志坚 陈渝
• 来源期刊: 中国设备管理
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射离子泵 直线加速器
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 维护与调整
• 页码范围: 24-25
• 页数: 2页
• 分类号: TH3
• 字数: 2329字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-0711.2001.03.018

摘要

介绍了溅射离子泵的工作原理及其对N2、O2、H2和惰性气体的排气机理,采用开槽阴极、增加一个离子收集极、泵内阴极做成蜂窝形对其结构加以改进,对高压电源、泵内真空度的估计、寿命、起动、清洗情况进行了说明,并给出了更换离子泵的注意事项及应用体会.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈渝	第三军医大学新桥医院肿瘤中心	83	232	8.0	11.0
2	牟志坚	第三军医大学新桥医院肿瘤中心	6	1	1.0	1.0