硅微通道板电子倍增器

• 作者: 但唐仁 卢耀华 姜德龙 富丽晨 李野 田景全 端木庆铎 高延军
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅 微通道板 长径比 打拿极
• 年，卷（期）: 2001,（12）
• 所属期刊栏目: 科研通信
• 页码范围: 1680-1682
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 2592字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2001.12.026

摘要

本文采用感应耦合等离子体刻蚀机(ICP)和低压化学气相淀积(LPCVD)技术制备了硅微孔列阵和连续打拿极,得到具有一定性能的硅微通道板.同时分析讨论了微孔列阵的表面形貌、反应离子刻蚀的尺寸效应以及电子增益系数等问题.与传统工艺相比,新工艺将微通道板基体材料与打拿极材料的选择分开、微孔列阵形成和连续打拿极制作过程分开,以MCP性能的突破找到了新途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	但唐仁		6	43	2.0	6.0
2	卢耀华		4	31	2.0	4.0
3	李野		5	32	2.0	5.0
4	姜德龙		5	37	2.0	5.0
5	端木庆铎		4	55	3.0	4.0
6	高延军		2	30	1.0	2.0
7	富丽晨		1	29	1.0	1.0
8	田景全		2	30	1.0	2.0