非电量测量与设备

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 环境扫描电子显微镜 射线分析 高分辨率 电子技术 温度高 电子成像 气体压力 样品环 气体种类 应用领域
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 页码范围: 86-86
• 页数: 1页
• 分类号: TN

摘要

【正】 0106383ESEM 的特点及其 X 射线分析[刊]/朱武//真空电子技术.—2000,(6).—21～23,29(C)环境扫描电子显微镜(ESEM)保留了传统扫描电子显微镜的全部优点,但取消了样品环境必须是高真空的限制。在气体压力高达6600Pa,温度高达1500℃,具有任何气体种类的多气环境里,ESEM 都可提供高分辨率的二次电子成像。本文介绍了 ESEM的特点、应用领域及 X 射线分析的有关问题。参3