可靠性工程与环境工程

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体器件 可靠性工程 环境工程 电磁散射 应力 化合物 溅射 薄膜 退化 感应
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 页码范围: 3-3
• 页数: 1页
• 分类号: TN

摘要

【正】 Y2000-62524-299 0107420化合物半导体器件的可靠性=Reliability of compoundsemiconductor devices[会,英]/Fantini,F.& Cattani,L.//2000 IEEE Proceedings of 22nd International Con-ference on Microelectronics,Vol.1.—299～310（EC）Y2000-62524-377 0107421硅上溅射 Ta₂O₅薄膜的感应应力退化=Stress induceddegradation in RF deposited Ta₂O₅ films on silicon[会,英]/Novkovski,N.& Pecovska-Gjorg,M.//2000IEEE Proceedings of 22nd International Conference onMicroelectronics,Vol.1.—377～378（EC）