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衍射微机电系统为光学网络提供了新的平台
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摘要：
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微机电系统技术及其应用
微机电系统
组成及特征
材料特性及加工工艺
应用领域
片上系统与微机电系统
片上系统
微机电系统
市场分析
电子信息
微机电系统的发展与应用
MEMS
传感器
执行器
纳米技术
工艺
微机电系统微弹簧优化设计方法
微机电系统
微弹簧
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期刊影响力
光机电信息
主办单位：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1007-1180
CN：
22-1250/TH
开本：
大16开
出版地：
吉林省长春市
邮发代号：
12-171
创刊时间：
1958
语种：
chi
出版文献量（篇）
2287
总下载数（次）
1
总被引数（次）
7000
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