ZnO薄膜的制备和发光特性的研究

• 作者: 张希清 李庆福 梅增霞 王晶 衣立新 赵谡玲 韩建民
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 光致发光 溅射
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 389-392
• 页数: 4页
• 分类号: O482.31
• 字数: 1808字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2002.04.016

摘要

用射频磁控溅射的方法在石英衬底上沉积了氧化锌薄膜.在室温下测量了样品的XRD曲线、吸收光谱以及光致发光光谱,探讨了气氛中氧气与氩气比对制备薄膜的影响.从XRD谱中可以看出,样品具有较好的结晶状态.另外,样品在紫外有较强的吸收,而其光致发光也是较强的紫外发射,这表明带间跃迁占了主导地位.以上结果说明:用溅射方法制备的ZnO薄膜结晶质量较好,富锌状态有所改善.