微系统用超声微电机的研究现状和发展趋势

• 作者: 刘晓 楼少敏 郭吉丰
• 来源期刊: 工程设计学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电机 超声微电机 超声波电机 微电子机械系统 微系统 产业化
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 页码范围: 173-177
• 页数: 5页
• 分类号: TM38
• 字数: 4363字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1006-754X.2002.04.001

摘要

微电机是微机电系统(MEMS)的核心,超声微电机是一个新的发展方向,这几年发展十分迅速.首先对比分析超声微电机与电磁型微电机和静电微电机的区别,对国内外现有的几种超声微电机及其发展趋势进行了介绍和分析,指出目前超声微电机发展存在研究定位不明和关键技术尚未完全解决两大问题,并提出了今后超声微电机发展的研究定位和必须解决的一些关键技术,其应用重点是军民两用,特别是军工.最后,指出市场牵引和工程实现是超声微电机取得突破的关键因素的同时,政府、产业和研究单位各方面的重视和形成合力则是推进我国超声微电机研究和产业化的关键.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	楼少敏	浙江科技学院机电工程系	30	256	10.0	14.0
2	郭吉丰	浙江大学电气工程学院	115	1110	17.0	27.0
3	刘晓	浙江大学电气工程学院	14	285	10.0	14.0