高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究

• 作者: 孙敦陆 张连翰 杭寅 钱小波
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 铝酸镧单晶 高温超导 衬底材料 超光滑表面抛光
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 121-123
• 页数: 3页
• 分类号: O786
• 字数: 1881字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2002.02.011

摘要

本文以化学机械抛光为手段,以原子力显微镜(AFM)为工具,对高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光进行研究.既观察到了由传统光学表面向超光滑表面过渡的过程,又观察到了超光滑表面加工的结果-表面的本征化.显示了超光滑表面抛光对外延衬底表面的重要性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙敦陆	中国科学院安徽光学精密机械研究所	36	292	9.0	15.0
2	杭寅	中国科学院上海光学精密机械研究所	44	386	10.0	17.0
3	张连翰	中国科学院安徽光学精密机械研究所	24	134	7.0	10.0
4	钱小波	中国科学院上海光学精密机械研究所	7	20	2.0	4.0