形状记忆合金薄膜驱动微泵的动态特性

• 作者: 丁桂甫 俞爱斌 周勇 徐东 王莉 程秀兰 蔡炳初 陈鉴
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 形状记忆合金 微泵 微驱动器 动态驱动特性
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 54-59
• 页数: 6页
• 分类号: TP271+.4
• 字数: 3186字
• 语种: 中文

摘要

一种用形状记忆合金薄膜驱动的新型微泵已经研制成功.为了进一步提高微泵性能,研究了微泵在不同驱动条件下的动态特性.结果表明,随着驱动电流和频率的增加,驱动膜有一个最大的位移值.占空比对最大位移的影响在有无流体情况下是不同的.微泵的流量不仅仅由驱动膜的位移决定,它还与驱动频率有关.在给定的频率下,位移越大,输出流量也越大.动态驱动过程中NiTi电阻的变化表明,形状记忆合金薄膜的马氏体←→奥氏体相转变是不完全的.