溅射靶材的应用及发展趋势

• 作者: 崔红玲 杨邦朝 胡永达
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射靶材 集成电路 平面显示器 光学镀膜
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 专家论坛
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 3484字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2002.01.001

摘要

由于集成电路、光碟及平面显示器等产业规模越来越大,这些高技术产业对各种超高纯金属及合金溅射靶材的需求量愈来愈多.本文对各种溅射靶的应用情况、市场及发展趋势作简要分析,供靶材生产厂参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨邦朝	电子科技大学信息材料工程学院	253	3422	31.0	49.0
2	胡永达	电子科技大学信息材料工程学院	61	1556	20.0	39.0
3	崔红玲	电子科技大学信息材料工程学院	16	163	5.0	12.0