谐振原理在硅微机械加速度计中的应用

• 作者: 张国雄 李醒飞 钟莹
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 谐振子 加速度计
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TN40|TP212.12
• 字数: 2482字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2002.04.001

摘要

将谐振原理应用于硅微机械加速度计中,可以改善后者输出信号的质量,降低检测难度.随着微机电系统工艺的发展,谐振式微加速度计已成为硅微机械加速度计发展的新趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国雄	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	267	3932	30.0	48.0
2	李醒飞	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	147	1425	20.0	30.0
3	钟莹	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	31	275	10.0	16.0