Al合金布线材料Fe掺杂最佳含量的理论分析

• 作者: 樊世杰 潘良玉 范志新 陈玖琳
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: Al-Fe合金薄膜 晶体结构 制备方法 最佳掺杂含量 理论计算
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 168-170
• 页数: 3页
• 分类号: O484|TN304
• 字数: 2741字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-488X.2002.03.011

摘要

介绍一个最佳掺杂含量表达式,应用此表达式分析计算了Al-Fe合金布线材料Fe掺杂最佳含量,定量计算的结果与实验数据基本符合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范志新	河北工业大学应用物理系	80	693	13.0	23.0
2	潘良玉	河北工业大学应用物理系	6	38	2.0	6.0
3	陈玖琳	河北工业大学应用物理系	5	172	3.0	5.0
4	樊世杰	河北工业大学应用物理系	1	0	0.0	0.0