退火与未退火MM-HEMT材料中二维电子气的磁输运特性研究

• 作者: 孙全 崔利杰 曾一平 朱战平 桂永胜 王保强 蒋春萍 褚君浩 郑国珍 郭少令 黄志明
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 变磁场霍耳测量 MM-HEMT材料 二维电子气 快速热退火
• 年，卷（期）: 2002,（z1）
• 所属期刊栏目: 光电子物理
• 页码范围: 79-82
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 字数: 2158字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2002.z1.020

摘要

采用变磁场霍耳测量,在1.5～90K的温度范围内,研究了经过快速热退火与未退火掺杂MM-HEMT材料中二维电子气的输运特性.通过对Shubnikov-de Hass(SdH)振荡曲线进行快速Fourier变换分析,获得了该样品沟道中子能带上的电子浓度等信息,并采用迁移率谱(MS)和多载流子拟合过程法(MFC)相结合的方法分析了该样品中子能带电子的浓度和迁移率.该方法与SdH测量所获得的结果符合得很好,都证实了在很高的温度下退火将影响样品沟道中电子的浓度和迁移率,对材料性能起着不可低估的作用.